熱濕CEMS煙氣在線監測系統主要由高溫采樣系統、高溫測量系統和CEMS分析柜組成。高溫取樣系統包括帶加熱過濾器的高溫取樣探頭、可在高溫環境下測量、反沖和校準的閥件、電伴熱煙氣輸送管道和反沖管道等。

高溫測量系統中使用的檢測系統有兩種:一種是正壓采樣，即在分析儀前使用抽氣泵，高溫分析儀器的高溫抽氣泵、連接管路和傳感器氣室安裝在恒溫柜內；另一種負壓采樣，即在分析儀后面設置噴射泵，通過分析儀抽取樣氣。

設計熱濕煙氣在線監測系統的樣品分析過程時，應考慮分析儀的工作特性，并確定所需氣體體積和加熱溫度等因素。

用于煙氣中HCL、HF、NH3的痕量檢測時，要特別注意連接管道的管壁的氣體吸附作用，即使是聚四氟乙烯材料制成的氣路仍然吸附HCL、HF、NH3。

為了防止粉塵顆粒在探頭處沉降，導致采樣探頭和過濾器堵塞，CEMS熱濕煙氣可以增加程控反吹壓縮空氣的設計。通過反吹，附著在過濾器和取樣探頭上的所有顆粒都被吹回到煙道中。探頭解堵自動完成，維護量大大減少，管道阻力穩定，測量數據準確性提高，保持穩定的系統快速響應。